干式螺桿真空泵也叫螺桿干式真空泵，是一種泵腔內完全無油的環保真空泵，適合清潔的工作環境，而且節能高效，越來越多的行業用干式螺桿真空泵已經替代了傳統真空泵。螺桿式干式真空泵的工作過程可分為吸氣、壓縮和排氣三個過程。隨著轉子的旋轉，每對相互嚙合的齒相繼完成相同的工作循環，現在以其中一對齒來說明。

吸氣過程

陽轉子按逆時針方向旋轉，陰螺桿按順時針方向旋轉。上方的轉子端面是吸氣斷面，下方的端面為排氣端面。

壓縮過程

轉子端面是排氣端面。在這里，陽轉子沿順時針方向旋轉，陰轉子沿逆時針方向旋轉。上方的轉子端面是吸氣斷面，下方的端面為排氣端面。

排氣過程

螺桿泵的排氣過程，齒間容積與排氣孔口連通后，即開始排氣過程。隨著齒間容積的不斷縮小，具有排氣壓力的氣體逐漸通過排氣孔口被排出。