干式螺桿真空泵由泵蓋、泵體、圓盤，葉輪、機械密封、電動機等零部件組成。干式螺桿真空泵工作原理主要是利用齒輪傳動同步反向旋轉的相互嚙合而不接觸的 左螺桿與右螺桿作高速轉動，利用泵殼和相互嚙合的螺旋槳螺旋槽分割成多個空間、形成 多個級，氣體在相等的各個槽內進行傳輸運動，
無壓縮，只有螺桿末端的螺旋結構才對氣體有壓縮的作用。
干式螺桿真空泵的分類有雙圓裂片式、三葉圓裂片式、外部壓縮型螺桿式、組合式（羅茨+爪） 、內部壓縮型螺桿式。
干式螺桿真空泵的種類越來越多，很多國內真空泵生產企業已經把主要精力至力于干式真空泵的研發和生產，技術越來越先進，所生產的干式螺桿真空泵的應用越來越廣泛，價格也不像以前那樣居高不下，真正滿足平價真空泵的需求。